瑞薩電子流量傳感器模塊使用熱傳遞(熱量計)原理,測量穿過傳感器表面的空氣,氣體或液體流量。 該流量傳感器采用了一系列可提供高靈敏度的 MEMS 熱電偶(熱電堆)。 MEMS 傳感元件的固體可靠的熱隔離與碳化硅薄膜提供卓越的耐磨性與長期可靠性。 某些版本還提供額外的聚對二甲苯涂層。 瑞薩電子提供已校準的、線性化輸出版本 (FS2012) 以及未校準的、非線性曲線輸出版本,以實現設計靈活性。 這些質量流量傳感器是工業過程控制、醫療衛生保健和醫療應用的理想之選。

  • 具有多種外形尺寸,用途廣泛
  • 在低流量下具有高靈敏度
  • 采用食品級材料,經美國國家衛生基金會 (NSF) 認證,可用于飲水應用
  • 采用無硅空腔的固態熱電堆傳感采用無硅空腔技術,可避免過壓的發生
  • 3VDC 至 5VDC 低壓
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FS1015 Air Velocity Sensor Module - Analog and Digital Output pdf_icon_for_table.png 立即購買
FS3000 Air Velocity Sensor Module - Digital Output pdf_icon_for_table.png 立即購買
FS1012 未校準輸出 - 氣體或液體 pdf_icon_for_table.png 立即購買
FS2012 校準輸出 - 氣體或液體 pdf_icon_for_table.png 立即購買

此類傳感器沒有活動部件,并涂有一層硅碳化硅涂層,且某些版本還涂有額外涂層。 這提供了出色的抗沖擊性,并可避免典型化學品對傳感器元件的損壞——這是其他常見傳感器架構的固有問題。 對這些問題的重視使得瑞薩電子的解決方案尤為適用于注重可靠性、堅固性和交叉污染因素的醫療、工業和與符合 FDA 標準的食品級消費類應用。

瑞薩電子流量傳感器模塊以靈活的模塊配置,提供全球頂級的性能和可靠性,適用于多種氣體和液體流量應用。 這些設備適用于生命科學,健康和保健應用以及空氣或氣體流量控制系統。

其創新的固態傳感器元件設計不需要通常存在于其他傳感器中的硅空腔和隔膜,并涂有保護性的碳化硅涂層,使其成為一種極為堅固可靠且兼容食品級應用的流量傳感器元件。

瑞薩電子提供具有數字 I2C 和模擬輸出的完全校準的非線性流量傳感器模塊。

由于腔內沒有活動部件,也沒有易碎的隔膜,該設計解決了傳感器元件堵塞和流體壓力敏感性問題,并可提供卓越的抗沖擊性能。 此外,特種涂料在惡劣環境下的應用中具有更高的抵抗力。

關于液體和氣體流體質量流傳感器

流量傳感器也被稱為流量計,用于測量流經模塊預設橫截面處的氣體或液體的流速和總體積。 這些測量在各類應用中均至關重要,這些應用包括飲水機、流體監測器、氧氣監測器和過程設備中的氣體流量監測。

瑞薩電子基于 MEMS 的氣體流量計和液體流量計模塊包含一個電阻式加熱器,以及兩組熱電偶(熱電堆),各位于加熱器的上下對稱位置。 熱電堆的輸出隨流速而變化;與從加熱器中測得的熱量成正比。 熱電堆的模擬輸出通常被轉換為可供系統處理器使用的校準數字輸出信號。

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Mass Flow Sensor Modules

A brief overview of Renesas’ high-performance, digital flow rate sensor modules, which are suitable for both liquids and gases. The sensors have no moving parts, no fragile diaphragm over a cavity, and feature a layer of silicon-carbide coating. This eliminates clogged sensor elements and fluid pressure sensitivity, provides excellent shock resistance, and prevents chemicals from damaging the sensor element – problems inherent to other, common sensor architectures. The attention to these issues make Renesas’ solution especially desirable for use in medical, industrial, and FDA-compatible food-grade consumer applications where reliability, robustness, and cross-contamination are critical factors.